多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器及制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510934783.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105552209B 公開（公告）日 2019-02-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN105552209B 申請(qǐng)公布日 2019-02-15
分類號(hào) H01L41/083;H01L41/193;H01L41/27 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孟召龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 感至源電子科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 感至源電子科技（上海）有限公司
地址 200434 上海市楊浦區(qū)逸仙路13號(hào)25棟1701C4室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的提供的一種多層自屏蔽型壓電薄膜傳感器及制備方法，絕緣層通過金屬電極復(fù)合蝕刻裝置，復(fù)合得到第二電極層、絕緣層和信號(hào)層的第一三層復(fù)合材料；第二PET層與第一三層復(fù)合材料復(fù)合在一起，形成四層復(fù)合材料；壓電薄膜通過金屬電極復(fù)合蝕刻裝置，復(fù)合得到壓電薄膜和第一地層的二層復(fù)合材料；二層復(fù)合材料與保護(hù)層復(fù)合在一起，形成第二三層復(fù)合材料；將第二三層復(fù)合材料進(jìn)行電極化；將電極化后的第二三層復(fù)合材料和四層復(fù)合材料復(fù)合在一起。其優(yōu)點(diǎn)在于生產(chǎn)方式簡(jiǎn)單，一次性成功，效率高，安全；理論上可生產(chǎn)任意寬度的傳感器，使得大面積、超大面積的多層自屏蔽型聚丙烯高分子壓電薄膜傳感器成為可能。