一種硅基異質(zhì)結(jié)薄膜太陽能電池的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910042743.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101488537A 公開（公告）日 2009-07-22
申請公布號 CN101488537A 申請公布日 2009-07-22
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0368(2006.01)I;H01L31/0376(2006.01)I;H01L31/0256(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 萬青;周棋;趙斌;易宗鳳 申請（專利權(quán)）人 湖南瀟湘神光新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 長沙市融智專利事務(wù)所 代理人 湖南大學
地址 410082湖南省長沙市河西麓山南路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅基異質(zhì)結(jié)薄膜太陽能電池的制作方法，步驟包括：1)采用PECVD、等離子體增強物理氣相沉積技術(shù)在透明導電玻璃上沉積一層厚度小于100納米的N型非晶硅薄膜或P型非晶硅薄膜；2)按硅質(zhì)量百分比30％-90％的比例，混合高純P型或N型硅粉、EVA、PET或PI塑料單體得到復合原料；3)采用印刷吹膜或者流延等塑料成膜工藝在N型非晶硅薄膜或P型非晶硅薄膜上形成一層厚度適當?shù)腜型硅/塑料復合薄膜或N型硅/塑料復合薄膜；4)最后采用真空蒸發(fā)、濺射工藝制作鋁背電極或銀背電極，形成多晶硅/非晶硅異質(zhì)結(jié)薄膜太陽能電池。本發(fā)明避免了大顆粒多晶硅薄膜難于直接沉積的難點，成本低廉，工藝簡單，且光電轉(zhuǎn)換效率高，具有廣泛的產(chǎn)業(yè)化價值。