一種平面靶材
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920408498.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209741263U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209741263U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-06 |
| 分類號(hào) | C23C14/35（2006.01） | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 沈登濤; 張佳衲; 曾一鑫 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 信元光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 廖苑濱 |
| 地址 | 516600 廣東省汕尾市城區(qū)信利工業(yè)城26棟4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種平面靶材，包括背板和綁定于所述背板上的靶材組，所述背板設(shè)有位于中部的凸起部和兩側(cè)的平坦部，所述靶材組包括設(shè)于所述凸起部的第一子靶材和設(shè)于所述平坦部上的第二子靶材；所述第一子靶材和第二子靶材的上表面保持平齊。本實(shí)用新型提供的平面靶材通過(guò)設(shè)置具有凸起部和平坦部的背板，從而在使得第一子靶材和第二子靶材的上表面平齊的情況下，第一子靶材的厚度小于第二子靶材的厚度，由于位于兩側(cè)的第二子靶材的消耗快，中間的第一子靶材消耗慢，因此可有有效保證第一子靶材和第二子靶材消耗完畢的時(shí)間的匹配，具有較好的一致性，從而避免了靶材浪費(fèi)，降低了生產(chǎn)成本。 |
