一種平面靶材
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920409388.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209741264U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209741264U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-06 |
| 分類號(hào) | C23C14/35（2006.01） | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 沈登濤; 曾一鑫 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 信元光電有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 廖苑濱 |
| 地址 | 516600 廣東省汕尾市城區(qū)信利工業(yè)城26棟4樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種平面靶材，包括背板、設(shè)于所述背板上的靶材組和設(shè)于所述靶材組上的壓條，所述靶材組通過(guò)所述壓條可拆卸固定于所述背板上；所述靶材組包括多個(gè)成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行數(shù)為二的倍數(shù)且使得靶材組對(duì)應(yīng)于所述背板中線形成上下對(duì)稱的布置。本實(shí)用新型提供的平面靶材通過(guò)設(shè)置由成多列多行布置且能替換位置的子靶材組成的靶材組，且靶材組可拆卸固定于所述背板上，子靶材的行數(shù)為二的倍數(shù)且使得靶材組對(duì)應(yīng)于所述背板中線形成上下對(duì)稱的布置，從而因磁場(chǎng)強(qiáng)度原因造成不同位置上的子靶材消耗不同時(shí)，可以將子靶材位置進(jìn)行替換，從而有效提高了利用率，降低了生產(chǎn)成本。 |
