金屬化薄膜測試儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN01225863.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN2532487Y 公開（公告）日 2003-01-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN2532487Y 申請(qǐng)公布日 2003-01-22
分類號(hào) G01N27/00;G01N27/04;G01R31/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 顧志軍;余柏南;楊成榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽銅峰電子集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市石城路117號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種金屬化薄膜測試儀，由高壓發(fā)生器、電壓取樣電路、電壓顯示電路、過流保護(hù)電路、測試電極和工作臺(tái)組成，其固定電極為具有一定表面積的導(dǎo)電板。工作臺(tái)上還設(shè)有方阻測試裝置，及表面質(zhì)量觀察裝置，工作臺(tái)一端連有膜卷支架。本實(shí)用新型采用大面積的導(dǎo)電板作電極，測量的耐壓值可真實(shí)地反映薄膜實(shí)際耐壓情況，另外將方阻測試、表面質(zhì)量檢查及靜電吸附檢查設(shè)備集中在一個(gè)工作臺(tái)上，占用空間小，便于測試和管理。