MEMS紅外光源及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111067218.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113791048A 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN113791048A 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01N21/3504;G01N21/01;B81B7/02;B81C1/00;B82Y15/00;B82Y40/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 甘凱仙;許晴;于海洋;張杰 申請（專利權）人 上海翼捷工業(yè)安全設備股份有限公司
代理機構 上海智信專利代理有限公司 代理人 王潔
地址 201114 上海市閔行區(qū)陳行公路2388號17幢501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種MEMS紅外光源，所述的紅外光源包括襯底和承載在襯底上的正面結構，所述的正面結構從下至上依次包括雙層介質層、鎢加熱電阻層、黏附層、納米非晶碳層、鈍化層，鎢加熱電阻層包括盤絲狀鎢結構、沉積在鎢結構中的氧化硅層、以及設置在鎢結構上的金屬電極。本發(fā)明還提供了相應的制備方法。本發(fā)明的新型紅外光源器件具有輻射自增強效應，可以實現(xiàn)更高的輻射溫度和更穩(wěn)定的熱響應，實現(xiàn)優(yōu)異的中遠紅外輻射性能。MEMS紅外光源集成于紅外氣體傳感系統(tǒng)，是紅外氣體檢測裝置的核心部件，解決了傳統(tǒng)傳感器與氣體直接接觸導致中毒或靈敏度下降的問題，對于環(huán)境檢測、工礦業(yè)生產(chǎn)安全方面具有巨大的應用價值。