紅外吸收復(fù)合膜結(jié)構(gòu)及二氧化碳熱釋電紅外探測器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110472593.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113188669A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113188669A 申請公布日 2021-07-30
分類號 G01J5/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 甘凱仙;許晴;何虎;張杰;于海洋 申請（專利權(quán)）人 上海翼捷工業(yè)安全設(shè)備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智信專利代理有限公司 代理人 王潔
地址 201114 上海市閔行區(qū)陳行公路2388號17幢501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于CO2熱釋電紅外探測器的紅外吸收復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，從上至下依次包括：第一二氧化硅層、氮化硅層、第二二氧化硅層，氮化硅層用于紅外吸收。本發(fā)明還提供了相應(yīng)的CO2熱釋電紅外探測器。本發(fā)明的紅外吸收復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，采用氧化硅?氮化硅?氧化硅多層介質(zhì)膜作為紅外吸收層，主要針對CO2氣體的高效紅外吸收進(jìn)行設(shè)計，厚度控制在2um以內(nèi)，可得到小于5％的反射率，且吸收率最高可達(dá)99.94％，吸收效率高、制作工藝簡單、工藝兼容性好、附著力好，且制作成本低廉易于量產(chǎn)。