一種210大尺寸硅片的清洗方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110480063.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113223934A | 公開（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113223934A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-06 |
| 分類號(hào) | H01L21/02;H01L21/66;H01L21/67;B08B3/04;B08B3/12 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 車曉東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 215253 江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)五臺(tái)山路169號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種210大尺寸硅片的清洗方法，包括以下步驟：步驟1：制定超聲檢測標(biāo)準(zhǔn)并標(biāo)準(zhǔn)化，并使用錫箔紙來檢測驗(yàn)證超聲是否合格；步驟2：按溢流漂洗?藥洗?藥洗?漂洗?藥洗?溢流漂洗的方式制定清洗工藝，確保電導(dǎo)率正常，提升清洗效果，減少臟污；步驟3：選擇雙組份清洗藥劑處理大尺寸硅片，試驗(yàn)數(shù)據(jù)說明其一次污片率低于單組份清洗劑，在大尺寸硅片上選用雙組份清洗劑，藥劑添加量根據(jù)小尺寸清洗機(jī)槽體尺寸來測算具體添加量，藥劑采用A+B的方式添加，補(bǔ)加量和藥劑添加量根據(jù)槽體尺寸以及過程取樣測試PH值和游離堿度來計(jì)算添加。 |
