一種適用于大尺寸硅片插片機的吸片翻轉(zhuǎn)機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022922962.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213845233U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213845233U 申請公布日 2021-07-30
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張強 申請（專利權(quán)）人 蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 高艷敏
地址 215253江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)五臺山路169號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種適用于大尺寸硅片插片機的吸片翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括固定軸、吸片滾筒、端蓋、傳動帶輪，所述固定軸包括中間的安裝部和兩端的固定部，所述吸片套筒套裝于固定軸的安裝部上，所述吸片套筒兩端分別設(shè)有端蓋，所述端蓋鎖緊于吸片套筒端部，所述傳動帶輪設(shè)有用于避讓所述固定軸固定部的中心孔，并鎖緊于其中一個端蓋的外端，所述吸片滾筒的兩端為相互對稱的正n邊形，n≥4，所述正n邊形的m個面上分別開設(shè)有吸附孔，所述m≤n，所述固定軸在與吸附孔相對應(yīng)位置開設(shè)有吸附槽，所述吸附槽連接真空系統(tǒng)。本實用新型所涉及的吸片翻轉(zhuǎn)機構(gòu)更方便分離大硅片、薄硅片，降低硅片的崩邊、碎片品質(zhì)缺陷。