一種硅片清洗烘干用的花籃裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120927095.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214898354U 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214898354U 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邵劍雄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州協(xié)鑫光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹坤
地址 215253江蘇省蘇州市蘇州高新區(qū)五臺(tái)山路169號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片清洗烘干用的花籃裝置。屬于太陽(yáng)能硅片清洗設(shè)備領(lǐng)域，包括左U型底板、右U型底板、支撐桿、齒桿、緩沖桿；在所述左U型底板和右U型底板上設(shè)有提拉孔；所述多根支撐桿為實(shí)心柱狀，成組對(duì)稱的固定于左、右U型底板的四角，起到固定支撐左右U型底板，形成可放置硅片的空間；本實(shí)用新型取消提拉桿結(jié)構(gòu)，在底板上設(shè)計(jì)提拉孔，設(shè)備機(jī)械手直接勾住底板，可大幅降低花籃的損壞率；另外，本實(shí)用新型將花籃齒設(shè)計(jì)為菱形窄齒，通過(guò)合理的齒長(zhǎng)確保對(duì)硅片的支撐，又減小了接觸面積，可降低硅片臟污異常。