一種多擴(kuò)展MOCVD人機(jī)界面的監(jiān)控設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020546856.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN201993621U 公開(公告)日 2011-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN201993621U 申請(qǐng)公布日 2011-09-28
分類號(hào) G05B19/418(2006.01)I 分類 控制;調(diào)節(jié);
發(fā)明人 劉景剛 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海藍(lán)寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多擴(kuò)展MOCVD人機(jī)界面的監(jiān)控設(shè)備,包括兩個(gè)或多個(gè)PC站、一個(gè)觸摸屏操作站、以及三個(gè)PLC站,還包括兩個(gè)具備環(huán)網(wǎng)功能并組成對(duì)稱環(huán)網(wǎng)監(jiān)控的第一交換機(jī)和第二交換機(jī);第一交換機(jī)與三個(gè)PLC站相連,第二交換機(jī)與觸摸屏操作站和兩個(gè)或多個(gè)PC站相連,上述所提到的觸摸屏操作站、PC站及PLC站都是可以進(jìn)行擴(kuò)展的。該控制形式采用電信環(huán)網(wǎng)中的高速冗余,可以擴(kuò)展多個(gè)觸摸屏操作站、PC站及PLC站。觸摸屏及PC站與PLC站分別連接于兩個(gè)交換機(jī)上,組成對(duì)稱的環(huán)網(wǎng)監(jiān)控形式。