一種金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的熱吹掃結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110166314.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102839358A 公開（公告）日 2012-12-26
申請公布號 CN102839358A 申請公布日 2012-12-26
分類號 C23C16/18(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李剛;孫仁君 申請（專利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的熱吹掃結(jié)構(gòu)，包括反應(yīng)腔、設(shè)置在反應(yīng)腔內(nèi)的載盤、支撐載盤的載盤支撐、設(shè)置在載盤下側(cè)的加熱體、在加熱體下側(cè)設(shè)置的熱屏蔽層、接入吹掃氣體的進(jìn)氣通路、以及排出吹掃氣體的出氣通路。加熱體設(shè)置在熱屏蔽層與載盤底部之間的加熱空間內(nèi)；進(jìn)氣通路接入吹掃氣體送至加熱空間后，并沿水平方向擴散后經(jīng)出氣通路排出。吹掃氣體從進(jìn)氣通路直接進(jìn)入加熱空間，并沿水平方向擴散后，經(jīng)出氣通路排出，吹掃氣體較易覆蓋整個加熱體，從而達(dá)到對加熱體的有效保護(hù)，并且吹掃氣體在加熱體上的流動有利于載盤的溫度均勻性的提高，而且對于整個工藝制成結(jié)束后，有效地縮短了降溫時間，提高了效率，降低了成本。