一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備放空壓力控制裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020546867.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202072764U 公開（公告）日 2011-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN202072764U 申請(qǐng)公布日 2011-12-14
分類號(hào) C23C16/52(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李剛;常依斌;王占柱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海藍(lán)寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備放空壓力控制裝置，該方法主要包括運(yùn)行管線(1)、放空管線(2)、運(yùn)行隔膜閥(3)、放空隔膜閥(4)、壓力計(jì)(5)、蝶閥(6)、氣體質(zhì)量流量控制器(7)、金屬有機(jī)源(8)、反應(yīng)室(9)、尾氣系統(tǒng)(10)。放空管線(2)上安裝有壓力計(jì)(5)和蝶閥(6)，而且壓力計(jì)(5)在蝶閥(6)的上游，兩者形成負(fù)反饋回路，通過壓力計(jì)(5)實(shí)時(shí)測(cè)量放空管線(2)壓力，并由蝶閥(6)將設(shè)定壓力和實(shí)測(cè)壓力進(jìn)行比較，蝶閥(6)通過調(diào)節(jié)開度完成放空管線(2)壓力的實(shí)時(shí)控制。