一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的氣體控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020284734.4 申請日 -
公開（公告）號 CN202099382U 公開（公告）日 2012-01-04
申請公布號 CN202099382U 申請公布日 2012-01-04
分類號 C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李剛;常依斌 申請（專利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海藍(lán)寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的氣體控制裝置，該裝置主要包括質(zhì)量流量控制器MFC-1、MFC2，壓力控制器PC-1，隔膜閥CA-1、CA-2、CA-3、CA-4、CA-5，單向閥CV-1、CV-2，質(zhì)量流量計(jì)MFM-1，H2供氣管路(1)，N2供氣管路(2)，NH3供氣管路(3)，H2被控管路(4)，N2被控管路(5)，NH3被控管路(6)，M供氣管路(7)。常規(guī)方法，金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備在N2的入口處采用帶質(zhì)量流量計(jì)的壓力控制器，但受零部件技術(shù)所限無法滿足大流量的需求，這里采用壓力控制器和質(zhì)量流量計(jì)串聯(lián)的方式，不僅解決了大流量的問題，還實(shí)現(xiàn)了供氣管路(7)的壓力和質(zhì)量流量控制的靈活切換。為了保證H2管路和NH3管路不造成安全隱患，通過CV-1和CA-4的控制可以方便實(shí)現(xiàn)H2管路的N2吹掃；通過CV-2和CA-5的控制可以方便實(shí)現(xiàn)NH3管路的N2吹掃。