一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的中央支柱

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020546826.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202139293U 公開(kāi)（公告）日 2012-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN202139293U 申請(qǐng)公布日 2012-02-08
分類(lèi)號(hào) C23C14/44(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李剛;李可;王小舉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海藍(lán)寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備(MOCVD)的中央支柱，包括：中央支柱體(1)、設(shè)置在中央支柱體(1)內(nèi)的導(dǎo)流螺桿(2)、密封中央支柱體(1)和導(dǎo)流螺桿(2)的上蓋(7)、固定在上蓋(7)上的進(jìn)水管(5)和出水管(6)、以及與中央支柱體(1)上部固定連接的反應(yīng)腔頂蓋(4)；導(dǎo)流螺桿(2)與中央支柱體(1)之間設(shè)有與進(jìn)水管(5)連通的冷卻流道，導(dǎo)流螺桿(2)的中間設(shè)有與出水管(6)連通的中間水槽，在導(dǎo)流螺桿(2)的下端設(shè)有連通冷卻流道和中間水槽的出水槽。該中央支柱體組裝完成后起到支撐腔體頂蓋(4)的作用，解決了MOCVD工作過(guò)程中腔體頂蓋(4)由于高溫產(chǎn)生的形變，不僅延長(zhǎng)了腔體頂蓋(4)的壽命問(wèn)題，也保證了MOCVD工作過(guò)程由于形變對(duì)氣流空間造成的不利影響，保證了生長(zhǎng)環(huán)境的一致性。