一種金屬有機物化學氣相沉積設備的水冷頂蓋

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020268455.9 申請日 -
公開（公告）號 CN202116642U 公開（公告）日 2012-01-18
申請公布號 CN202116642U 申請公布日 2012-01-18
分類號 C23C16/18(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李可;李剛 申請（專利權）人 上海永勝半導體設備有限公司
代理機構 深圳市順天達專利商標代理有限公司 代理人 上海藍寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)設備中一種金屬有機物化學氣相沉積設備的水冷頂蓋。其結構特點是，水冷頂蓋由頂蓋體上板(1)、頂蓋體下板(2)、進水接頭(3)、出水接頭(4)、連接塊(5)、密封溝槽(6)、鎖緊溝槽(7)和S形水冷溝槽(8)組成。頂蓋體上板開有進出水孔，頂蓋體下板開有水槽，焊為一體形成密封水路。進出水管與冷卻水系統(tǒng)連接，由冷卻水系統(tǒng)提供循環(huán)的恒溫冷水對頂蓋進行冷卻。本實用新型為多路水冷槽徑向或圓周向分布，配合流量計、溫控器的情況下可實現(xiàn)頂蓋溫度的分區(qū)控制。單條水路可實現(xiàn)徑向方向上溫度的控制，不同水路之間可實現(xiàn)不同區(qū)域的溫度控制。