一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的水冷頂蓋

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020268455.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202116642U 公開(kāi)（公告）日 2012-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN202116642U 申請(qǐng)公布日 2012-01-18
分類號(hào) C23C16/18(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李可;李剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海藍(lán)寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備中一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的水冷頂蓋。其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是，水冷頂蓋由頂蓋體上板(1)、頂蓋體下板(2)、進(jìn)水接頭(3)、出水接頭(4)、連接塊(5)、密封溝槽(6)、鎖緊溝槽(7)和S形水冷溝槽(8)組成。頂蓋體上板開(kāi)有進(jìn)出水孔，頂蓋體下板開(kāi)有水槽，焊為一體形成密封水路。進(jìn)出水管與冷卻水系統(tǒng)連接，由冷卻水系統(tǒng)提供循環(huán)的恒溫冷水對(duì)頂蓋進(jìn)行冷卻。本實(shí)用新型為多路水冷槽徑向或圓周向分布，配合流量計(jì)、溫控器的情況下可實(shí)現(xiàn)頂蓋溫度的分區(qū)控制。單條水路可實(shí)現(xiàn)徑向方向上溫度的控制，不同水路之間可實(shí)現(xiàn)不同區(qū)域的溫度控制。