一種金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的加熱器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020284730.6 申請日 -
公開（公告）號 CN202116644U 公開（公告）日 2012-01-18
申請公布號 CN202116644U 申請公布日 2012-01-18
分類號 C23C16/448(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 常依斌;王小舉;李剛 申請（專利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 深圳市順天達專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 上海藍寶光電材料有限公司
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的加熱器，主要包括：由內(nèi)至外依次設(shè)置的內(nèi)圈加熱片(7)、第一中圈加熱片(8)、第二中圈加熱片(9)、以及外圈加熱片(10)；所述內(nèi)圈加熱片(7)、外圈加熱片(10)、第一中圈加熱片(8)和第二中圈加熱片(9)采用兩種或以上不同材質(zhì)的加熱片組成。加熱器周邊采用隔熱屏(5)，這樣減少加熱器周邊方向的熱量損失，提高加熱能效利用，也可以減少了周邊零件因為受加熱器輻射熱量而對冷卻的需求。采用轉(zhuǎn)接塊(3)實現(xiàn)了加熱器安裝電極和鉬電極的電氣連接連接，可以根據(jù)加熱器下方的空間要求，改變轉(zhuǎn)接塊的形狀和尺寸，解決空間狹小的問題。