一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載盤支撐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010619354.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102534560A 公開（公告）日 2012-07-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN102534560A 申請(qǐng)公布日 2012-07-04
分類號(hào) C23C16/458(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海永勝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201616 上海市松江區(qū)文俊路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備中的一種載盤支撐裝置。它包括腔體底盤(1)、腔壁(2)、多層載盤支撐(3)、支撐墊塊(4)、支撐連接(5)、載盤(6)、加熱器(7)，特征是多層載盤支撐(3)安裝在腔體底盤(1)上，通過放置在多層載盤支撐(3)上部的支撐墊塊(4)保證整個(gè)支撐面的平面度。多層載盤支撐(3)的每層均支撐受力，降低了對(duì)每層支撐的強(qiáng)度(厚度)的要求。工作過程中，腔體內(nèi)部從常溫到1000℃不斷來回變化的過程中，厚度較薄的載盤支撐產(chǎn)生的形變也較小，也保證了工作的穩(wěn)定性和安全性。而多層載盤支撐(3)也起到了隔熱作用，使其內(nèi)側(cè)加熱器的熱量不容易輻射到腔壁(2)上。