原子力顯微鏡
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202122405677.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN215910518U | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請公布號 | CN215910518U | 申請公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號 | G01Q60/24（2010.01）I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 吳森 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州知銳技術(shù)有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京慧加倫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張亞輝 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路9號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供了一種原子力顯微鏡，包括：光杠桿檢測模塊，光杠桿檢測模塊包括非相干光源、準直鏡、反射鏡和光電探測器組件；掃描器模塊，掃描器模塊包括會聚透鏡、反射面、微懸臂梁探針和掃描器組件，會聚透鏡、反射面和微懸臂梁探針均設(shè)置在掃描器組件上；非相干光源發(fā)出的光通過準直鏡進入會聚透鏡，通過會聚透鏡的光被反射面反射至探針的微懸臂梁上，微懸臂梁反射光經(jīng)反射面返回會聚透鏡，然后再通過反射鏡進入光電探測器組件。本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中原子力顯微鏡在檢測的時候由激光干涉現(xiàn)象引起的噪聲問題。 |
