原子力顯微鏡的Z掃描器和探針裝置及探針裝置安裝器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710255058.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107192854B 公開(kāi)（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN107192854B 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) G01Q10/00;G01Q60/24;G01Q60/38 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉璐;吳森;胡曉東;徐臨燕;胡小唐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州知銳技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 代理人 天津大學(xué)
地址 300192 天津市南開(kāi)區(qū)衛(wèi)津路92號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 原子力顯微鏡的Z掃描器和探針裝置及探針裝置安裝器，裝置有Z掃描器和連接在Z掃描器下面的探針裝置，Z掃描器有由下至上依次設(shè)置的環(huán)形鐵片、環(huán)形壓電陶瓷片和環(huán)形磁鐵，環(huán)形鐵片、環(huán)形壓電陶瓷片和環(huán)形磁鐵同軸設(shè)置，內(nèi)周共同構(gòu)成通光孔；探針裝置有用于與環(huán)形鐵片通過(guò)磁力相連的探針夾持結(jié)構(gòu)，嵌入在探針夾持結(jié)構(gòu)上的懸臂梁探針和通過(guò)螺絲將懸臂梁探針固定在探針夾持結(jié)構(gòu)上的彈簧壓片。探針裝置的探針裝置安裝器有安裝器主體的一端形成有矩形開(kāi)口，矩形開(kāi)口的兩側(cè)和底部分布的形成有用于通過(guò)沉頭螺釘連接探針裝置的沉頭螺紋孔，安裝器主體遠(yuǎn)離矩形開(kāi)口部分，形成有用于連接外部裝置的沉頭通孔。本發(fā)明能夠適用于各種功效和多種掃描方式的原子力顯微鏡。