一種光束跟蹤式原子力顯微鏡掃描測(cè)頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310514419.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103529243B 公開（公告）日 2016-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN103529243B 申請(qǐng)公布日 2016-11-16
分類號(hào) G01Q10/00(2010.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 吳森;胡曉東;胡小唐;徐臨燕 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州知銳技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 代理人 杜文茹
地址 215127 江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光束跟蹤式原子力顯微鏡掃描測(cè)頭，是由光學(xué)檢測(cè)模塊和掃描模塊構(gòu)成，掃描模塊有：進(jìn)行水平一維掃描運(yùn)動(dòng)的Y向一維掃描機(jī)構(gòu)和固定連接在Y向一維掃描機(jī)構(gòu)上能夠進(jìn)行垂直一維掃描運(yùn)動(dòng)的Z向一維掃描機(jī)構(gòu)，Z向一維掃描機(jī)構(gòu)上固定有懸臂梁探針和位于懸臂梁探針上方的非球面透鏡，Y向一維掃描機(jī)構(gòu)上固定設(shè)置有直角棱鏡；光學(xué)檢測(cè)模塊有：沿直角棱鏡的水平入射光路依次設(shè)置的激光器、準(zhǔn)直鏡、極化分光鏡、四分之一波片和第一分束器，其中，第一分束器的垂直分光光路上依次設(shè)置有第二分束器、管鏡和CCD相機(jī)，第二分束器的水平方向接口連接有照明光源，極化分光鏡的垂直光路上依次設(shè)置有會(huì)聚透鏡和光電探測(cè)器。本發(fā)明能夠消除誤差，進(jìn)行高速掃描成像。