施力結構以及基于其測量原子力顯微鏡探針的法向彈性常數(shù)的方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910744604.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110470441A 公開（公告）日 2019-11-19
申請公布號 CN110470441A 申請公布日 2019-11-19
分類號 G01M5/00（2006.01）I; G01N3/20（2006.01）I; G01Q60/38（2010.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鎬東越; 吳森 申請（專利權）人 蘇州知銳技術有限公司
代理機構 天津創(chuàng)智天誠知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 李蕊
地址 215127 江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種施力結構以及基于其測量原子力顯微鏡探針的法向彈性常數(shù)的方法和應用，施力結構包括：承載件和施力件，所述施力件的一端與所述承載件固裝，在所述施力件的底端形成有一棱。相對于以往的采用彎曲法對原子力顯微鏡探針法向彈性常數(shù)進行標定的系統(tǒng)，本發(fā)明的施力結構以及基于該施力結構的測量法向彈性常數(shù)的方法不會對微懸臂梁探針的針尖產(chǎn)生任何的損傷以及污染。從普通探針到特殊懸臂梁探針或者具有特殊針尖的微懸臂梁探針都可進行準確無損標定，保證了探針針尖的完好性。