原子力顯微鏡
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122405627.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215910517U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215910517U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | G01Q60/24（2010.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 吳森 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州知銳技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京慧加倫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張亞輝 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路9號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種原子力顯微鏡，包括：光杠桿檢測(cè)模塊，光杠桿檢測(cè)模塊包括激光器、光纖結(jié)構(gòu)、準(zhǔn)直鏡、反射鏡和光電探測(cè)器組件；掃描器模塊，掃描器模塊包括會(huì)聚透鏡、反射面、微懸臂梁探針和掃描器組件，會(huì)聚透鏡、反射面和微懸臂梁探針均設(shè)置在掃描器組件上；激光器發(fā)出的光通過(guò)光纖結(jié)構(gòu)進(jìn)行非相干處理進(jìn)入準(zhǔn)直鏡進(jìn)入會(huì)聚透鏡，通過(guò)會(huì)聚透鏡的光被反射面反射至探針的微懸臂梁上，微懸臂梁反射的光經(jīng)反射面返回會(huì)聚透鏡，然后再通過(guò)反射鏡進(jìn)入光電探測(cè)器組件。本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中原子力顯微鏡在檢測(cè)的時(shí)候由激光干涉現(xiàn)象引起的噪聲問(wèn)題。 |
