一種適用于高速掃描的原子力顯微鏡系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510089015.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104634997B 公開（公告）日 2017-09-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN104634997B 申請(qǐng)公布日 2017-09-19
分類號(hào) G01Q60/24 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 吳森;胡曉東;徐臨燕;胡小唐;劉璐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州知銳技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 代理人 杜文茹
地址 215127 江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于高速掃描的原子力顯微鏡系統(tǒng)，包括有搭載在垂直升降電機(jī)上的用于對(duì)樣品進(jìn)行水平方向一維掃描的X向掃描器，還設(shè)置有對(duì)應(yīng)于樣品用于對(duì)樣品進(jìn)行Y、Z向掃描的二維掃描模塊，以及與所述的二維掃描模塊光路連接用于對(duì)樣品進(jìn)行光學(xué)檢測(cè)的光杠桿檢測(cè)模塊和光學(xué)顯微鏡模塊。所述的樣品固定在所述的X向掃描器上。本發(fā)明的一種適用于高速掃描的原子力顯微鏡系統(tǒng)，能夠在保證較小的激光光斑尺寸與較大范圍的光束跟蹤能力的同時(shí)，獲得更高的掃描器帶寬和更好的光學(xué)觀察效果。