一種光束跟蹤式原子力顯微鏡掃描測頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310514419.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103529243A 公開（公告）日 2014-01-22
申請公布號 CN103529243A 申請公布日 2014-01-22
分類號 G01Q10/00(2010.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳森;胡曉東;胡小唐;徐臨燕 申請（專利權(quán)）人 蘇州知銳技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 天津市北洋有限責任專利代理事務所 代理人 杜文茹
地址 215127 江蘇省蘇州市吳中區(qū)甪直鎮(zhèn)凌港路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光束跟蹤式原子力顯微鏡掃描測頭，是由光學檢測模塊和掃描模塊構(gòu)成，掃描模塊有：進行水平一維掃描運動的Y向一維掃描機構(gòu)和固定連接在Y向一維掃描機構(gòu)上能夠進行垂直一維掃描運動的Z向一維掃描機構(gòu)，Z向一維掃描機構(gòu)上固定有懸臂梁探針和位于懸臂梁探針上方的非球面透鏡，Y向一維掃描機構(gòu)上固定設置有直角棱鏡；光學檢測模塊有：沿直角棱鏡的水平入射光路依次設置的激光器、準直鏡、極化分光鏡、四分之一波片和第一分束器，其中，第一分束器的垂直分光光路上依次設置有第二分束器、管鏡和CCD相機，第二分束器的水平方向接口連接有照明光源，極化分光鏡的垂直光路上依次設置有會聚透鏡和光電探測器。本發(fā)明能夠消除誤差，進行高速掃描成像。