一種延長MOCVD過濾器壽命的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410514578.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104258681A 公開（公告）日 2015-01-07
申請公布號 CN104258681A 申請公布日 2015-01-07
分類號 B01D51/02(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 師偉堂;王偉;王富文;周向志 申請（專利權）人 杭州廣榮科技有限公司
代理機構 杭州求是專利事務所有限公司 代理人 杜軍
地址 310012 浙江省杭州市西湖區(qū)西溪路525號B樓425室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種延長MOCVD過濾器壽命的方法。本發(fā)明是在MOCVD過濾器前端加裝水冷裝置。水冷裝置包括水冷腔體，在水冷腔體內設置有螺旋盤繞的水冷管，水冷管的進水端和出水端分別設置于水冷裝置兩端，在水冷腔體還設置有用于過濾尾氣中大顆粒的不銹鋼網(wǎng)濾芯。水冷裝置一方面能使一般固體顆粒及低沸點物質在進入過濾器之前發(fā)生凝聚沉積，進入過濾器中的顆粒物質變少，降低了單個標準LED程序過程中濾芯的吸附量，延長濾芯壽命，另一方面可以降低進入過濾器內尾氣的溫度，減少更換過濾器時的等待時間，降低時間成本。