一種復(fù)合分子泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820272364.9 申請日 -
公開（公告）號 CN208169156U 公開（公告）日 2018-11-30
申請公布號 CN208169156U 申請公布日 2018-11-30
分類號 F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 馬建;樂韻;董寶田 申請（專利權(quán)）人 北京海斯德電機(jī)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姚金金
地址 100191 北京市海淀區(qū)學(xué)院路35號世寧大廈410A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及分子泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種復(fù)合分子泵，包括泵殼、機(jī)芯殼體、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子和定子，機(jī)芯殼體的上部的外周設(shè)有第一導(dǎo)流槽以形成第一牽引級定子，第一導(dǎo)流槽的上端與機(jī)芯殼體的內(nèi)部連通；轉(zhuǎn)子包括位于上部的渦輪級轉(zhuǎn)子和位于下部的牽引級轉(zhuǎn)子，牽引級轉(zhuǎn)子與第一牽引級定位對應(yīng)設(shè)置，且牽引級轉(zhuǎn)子的外周設(shè)有第二導(dǎo)流槽，定子套設(shè)于轉(zhuǎn)子上，且定子包括第一牽引級定子、與渦輪級轉(zhuǎn)子對應(yīng)設(shè)置的渦輪級定子和與牽引級轉(zhuǎn)子對應(yīng)設(shè)置的第二牽引級定子。本實用新型在機(jī)芯殼體上開設(shè)第一導(dǎo)流槽形成第一牽引級定子，在轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，機(jī)芯殼體內(nèi)的氣體從第一導(dǎo)流槽向出氣口方向流動，使得機(jī)芯殼體內(nèi)真空度提高，從而抑制機(jī)芯殼體內(nèi)空氣向高真空區(qū)泄露。