一種復(fù)合分子泵

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820272364.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208169156U 公開（公告）日 2018-11-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN208169156U 申請(qǐng)公布日 2018-11-30
分類號(hào) F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 馬建;樂(lè)韻;董寶田 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京海斯德電機(jī)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姚金金
地址 100191 北京市海淀區(qū)學(xué)院路35號(hào)世寧大廈410A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及分子泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種復(fù)合分子泵，包括泵殼、機(jī)芯殼體、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子和定子，機(jī)芯殼體的上部的外周設(shè)有第一導(dǎo)流槽以形成第一牽引級(jí)定子，第一導(dǎo)流槽的上端與機(jī)芯殼體的內(nèi)部連通；轉(zhuǎn)子包括位于上部的渦輪級(jí)轉(zhuǎn)子和位于下部的牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與第一牽引級(jí)定位對(duì)應(yīng)設(shè)置，且牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的外周設(shè)有第二導(dǎo)流槽，定子套設(shè)于轉(zhuǎn)子上，且定子包括第一牽引級(jí)定子、與渦輪級(jí)轉(zhuǎn)子對(duì)應(yīng)設(shè)置的渦輪級(jí)定子和與牽引級(jí)轉(zhuǎn)子對(duì)應(yīng)設(shè)置的第二牽引級(jí)定子。本實(shí)用新型在機(jī)芯殼體上開設(shè)第一導(dǎo)流槽形成第一牽引級(jí)定子，在轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，機(jī)芯殼體內(nèi)的氣體從第一導(dǎo)流槽向出氣口方向流動(dòng)，使得機(jī)芯殼體內(nèi)真空度提高，從而抑制機(jī)芯殼體內(nèi)空氣向高真空區(qū)泄露。