一種復(fù)合分子泵

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810162949.X 申請日 -
公開（公告）號 CN108412785A 公開（公告）日 2018-08-17
申請公布號 CN108412785A 申請公布日 2018-08-17
分類號 F04D19/04;F04D25/06;F04D29/32;F04D29/54 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 馬建;董寶田;樂韻 申請（專利權(quán)）人 北京海斯德電機(jī)技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姚金金
地址 100191 北京市海淀區(qū)學(xué)院路35號世寧大廈410A
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及分子泵技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種復(fù)合分子泵，包括泵殼、機(jī)芯殼體、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)子和定子，轉(zhuǎn)子的上端封閉，轉(zhuǎn)子自下端面向上開設(shè)有安裝腔，機(jī)芯殼體的上端敞口，且機(jī)芯殼體的上部套設(shè)于安裝腔內(nèi)，轉(zhuǎn)軸豎直設(shè)于機(jī)芯殼體內(nèi)，且轉(zhuǎn)軸的上端設(shè)有安裝盤，緊固件自下而上穿過安裝盤和轉(zhuǎn)子將轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)子固定；轉(zhuǎn)子包括位于上部的渦輪級轉(zhuǎn)子和位于下部的牽引級轉(zhuǎn)子；定子包括與渦輪級轉(zhuǎn)子對應(yīng)設(shè)置的渦輪級定子和與牽引級轉(zhuǎn)子對應(yīng)設(shè)置的第一牽引級定子。本發(fā)明的轉(zhuǎn)子的上端封閉，根本上隔絕了高真空區(qū)和低真空區(qū)，因此機(jī)芯殼體內(nèi)的氣體不能從轉(zhuǎn)子泄漏出去，縮短了抽氣的時(shí)間。