泡生法藍(lán)寶石引晶形態(tài)控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210279358.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102758251B 公開（公告）日 2016-01-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN102758251B 申請(qǐng)公布日 2016-01-20
分類號(hào) C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 賈寶申;張向鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫鼎晶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹祖良
地址 214145 江蘇省無(wú)錫市新區(qū)鴻山街道辦錫協(xié)路208-6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種泡生法藍(lán)寶石引晶形態(tài)控制方法，其包括如下步驟：a、將氧化鋁原料裝入單晶爐坩堝內(nèi)，在籽晶桿上安裝籽晶，啟動(dòng)真空系統(tǒng)及加熱系統(tǒng)，調(diào)節(jié)加熱系統(tǒng)的電壓，以使得氧化鋁原料全部融化并達(dá)到熔體表面對(duì)流穩(wěn)定狀態(tài)，并使得液面冷心與坩堝幾何中心偏離小于20mm；b、緩慢調(diào)節(jié)籽晶位置，使得籽晶逐漸接近熔體液面，同時(shí)調(diào)節(jié)加熱系統(tǒng)的工作電壓，以避免籽晶熔融；c、在籽晶的下端部與上述熔體液面2~5mm處預(yù)熱30min；d、利用傳統(tǒng)提拉工藝，旋轉(zhuǎn)籽晶，調(diào)節(jié)加熱系統(tǒng)的工作電壓，控制結(jié)晶端部的直徑小于50mm，并使得結(jié)晶端部覆蓋冷心后開始放肩。本發(fā)能夠較好地控制結(jié)晶端部的形態(tài)；操作方便，提高引晶成功率及成品率。