一種制備電子級(jí)高純氫氟酸的預(yù)處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010989789.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112028022A | 公開（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112028022A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-04 |
| 分類號(hào) | C01B7/19(2006.01)I;C01B33/10(2006.01)I | 分類 | 無機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 江偉;胡洪峰;謝鉞 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 宣城亨泰電子化學(xué)材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 宣城亨泰電子化學(xué)材料有限公司 |
| 地址 | 242000安徽省宣城市宣州區(qū)宣城高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)麒麟大道10號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種制備電子級(jí)高純氫氟酸的預(yù)處理方法，屬于氫氟酸制備技術(shù)領(lǐng)域，包括以下步驟：將氟化鈣反應(yīng)得到的HF氣體通入洗滌液為硫酸的洗滌塔中進(jìn)行除塵和冷卻，此時(shí)流出的HF氣體中仍混入少量水蒸汽；對(duì)洗滌過得氣體通入冷凝塔中進(jìn)行冷凝操作，將HF氣體液化，其中液態(tài)HF混合物通入精餾塔除去夾雜的硫酸和水，部分未凝氣體混合物通入脫氣塔，除去其中夾雜的二氧化硫和四氟化硅氣體；將冷凝、精餾和脫氣產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行收集處理，并收集脫氣完成的無水氫氟酸。通過對(duì)回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐制備的HF高溫氣體進(jìn)行洗滌、冷凝、精餾和脫氣操作，最終獲取無水HF有助于提高電子級(jí)高純氫氟酸制備的純度。?? |
