一種基于刻蝕衍射光柵的高分辨率光譜儀

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822111617.7 申請日 -
公開（公告）號 CN209400083U 公開（公告）日 2019-09-17
申請公布號 CN209400083U 申請公布日 2019-09-17
分類號 G01J3/18（2006.01）I; G01J3/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 何賽靈; 馬珂奇; 朱凝 申請（專利權(quán)）人 紹興圖聚光電科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 312030 浙江省紹興市柯橋區(qū)柯橋經(jīng)濟開發(fā)區(qū)西環(huán)路586號科創(chuàng)大廈A座1705
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種基于刻蝕衍射光柵的高分辨率光譜儀，包括基片，輸入波導、自由傳輸區(qū)、反射光柵和輸出波導集成于基片上；輸入波導，用于接收待測光信號，并傳輸?shù)阶杂蓚鬏攨^(qū)；自由傳輸區(qū)，傳輸從輸入波導出射的待測光和被反射光柵反射的待測光；反射光柵，用于反射待測光信號至輸出波導入射端，使反射光在輸出波導的入射端滿足干涉相長的條件；輸出波導，所述輸出波導為密集陣列波導，密集陣列波導由多個不同寬度的波導循環(huán)排列組成，每個波導為一個輸出通道，每個輸出通道輸出不同波長的光。本實用新型的光譜儀與使用等寬度陣列波導作為輸出波導的光譜儀相比，在相同光譜儀器件尺寸的條件下，輸出通道個數(shù)更多，輸出通道間距更小，光譜儀分辨率更高。