無水氟化鋁的氣相制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110547671.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113355651A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113355651A 申請公布日 2021-09-07
分類號 C23C16/30（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;C01F7/50（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李進;高振華 申請（專利權(quán)）人 湖北省黃麥嶺磷化工有限責任公司
代理機構(gòu) 宜昌市三峽專利事務(wù)所 代理人 成鋼
地址 432818湖北省孝感市大悟縣陽平鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種無水氟化鋁的制備方法，將氯化鋁氣體經(jīng)載氣與四氟化硅氣體經(jīng)載氣采用等離子體氣相沉積法制備得到氟化鋁。所述的載氣為氮氣或氬氣，氮氣或氬氣的純度大于99.999%。所述的氯化鋁氣體經(jīng)載氣與四氟化硅氣體經(jīng)載氣進行氣相沉積過程中進入腔體的射頻功率為350～450W，射頻頻率12?16MHz，溫度250～350℃，腔體壓強100～160Pa。所述的氯化鋁氣體經(jīng)載氣的氣體流量為150?180sccm，四氟化硅氣體經(jīng)載氣的氣體流量為100?130sccm。該制備方法中，原料氯化鋁和四氟化硅都是以氣體的形式存在，是一種氣氣反應(yīng)制備氟化鋁的方法，提升了產(chǎn)品質(zhì)量。