一種用于監(jiān)控連接線阻值變化因素的測(cè)試結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120261684.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215644392U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN215644392U 申請(qǐng)公布日 2022-01-25
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張飛虎;陸梅君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州廣立微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇坤象律師事務(wù)所 代理人 趙新民
地址 310012浙江省杭州市西湖區(qū)西斗門路3號(hào)天堂軟件園A幢15樓F1座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于監(jiān)控連接線阻值變化因素的測(cè)試結(jié)構(gòu)，包括連接線組，所述連接線組包括寬線和窄線，寬線的線寬大于窄線的線寬；寬線和窄線的厚度相同，寬線和窄線的長(zhǎng)度也相同；寬線的兩端分別設(shè)置有測(cè)試端口，用于測(cè)量寬線的阻值；窄線的兩端分別設(shè)置有測(cè)試端口，用于測(cè)量窄線的阻值；連接線組設(shè)置在阻值變化因素相同的環(huán)境下，包括連接線組的厚度變化相同和寬度變化相同；寬線的兩端設(shè)置有四個(gè)端口，能進(jìn)行KLV四端測(cè)試；所述窄線的兩端設(shè)置有四個(gè)端口，能進(jìn)行KLV四端測(cè)試。本實(shí)用新型的一種用于監(jiān)控連接線阻值變化因素的測(cè)試結(jié)構(gòu)，適用于金屬線、多晶硅，也適用于金屬化合物，可以用于金屬柵、金屬鎢、金屬銅等工藝中。