一種晶圓測(cè)試參數(shù)的相關(guān)性判斷方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111109950.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113933672A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113933672A 申請(qǐng)公布日 2022-01-14
分類(lèi)號(hào) G01R31/26（2014.01）I;G06K9/62（2022.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 邵康鵬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 杭州廣立微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇坤象律師事務(wù)所 代理人 趙新民
地址 310012浙江省杭州市西湖區(qū)西斗門(mén)路3號(hào)天堂軟件園A幢15樓F1座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓測(cè)試參數(shù)的相關(guān)性判斷方法，包括：數(shù)據(jù)獲取，得到N個(gè)測(cè)試參數(shù)組；對(duì)N個(gè)測(cè)試參數(shù)組分別進(jìn)行數(shù)據(jù)預(yù)處理，得到N個(gè)第一參數(shù)組；對(duì)N個(gè)第一參數(shù)組降維，得到N個(gè)第二參數(shù)組；確定N個(gè)第二參數(shù)組要分組的個(gè)數(shù)k，得到k個(gè)起始質(zhì)心；自動(dòng)分組并進(jìn)行相關(guān)性判斷。采用本方法能自動(dòng)識(shí)別不同測(cè)試方法下的晶圓測(cè)試參數(shù)的相關(guān)性，能快速尋找到相關(guān)性高的晶圓測(cè)試參數(shù)組，并快速進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，節(jié)約時(shí)間和成本；有利于進(jìn)一步提高良率分析的準(zhǔn)確率。本發(fā)明還提供一種晶圓測(cè)試參數(shù)的相關(guān)性判斷系統(tǒng)，因采用本發(fā)明的一種晶圓測(cè)試的相關(guān)性判斷方法而具有相應(yīng)優(yōu)勢(shì)。