一種大產(chǎn)能刻蝕設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111079792.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113725321A 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN113725321A 申請公布日 2021-11-30
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 秦磊;楊均炎;張忠衛(wèi) 申請（專利權）人 南通蘇民新能源科技有限公司
代理機構 南京縱橫知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 董建林
地址 226300江蘇省南通市通州灣江海聯(lián)動開發(fā)示范區(qū)扶海路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大產(chǎn)能刻蝕設備，包括產(chǎn)品上料、反應裝置、產(chǎn)品下料和花籃，反應裝置內(nèi)上下方向分別設置有上反應槽和下反應槽，上反應槽和下反應槽上分別設置有上傳動滾輪和下傳動滾輪，反應裝置內(nèi)位于下反應槽下方設置有儲液箱，反應裝置左右側面設置有反應液管道，反應液管道下端接在儲液箱內(nèi)，反應液管道上部分別與上反應槽和下反應槽連通，產(chǎn)品上料和產(chǎn)品下料上分別設置有前傳輸皮帶和后傳輸皮帶，前傳輸皮帶的后端通過前活動中樞與兩個前活動輸送板前端連接，后傳輸皮帶前端通過后活動中樞與兩個后活動輸送板后端連接。本發(fā)明的一種大產(chǎn)能刻蝕設備，能夠在不改變設備占地面積前提下，提升產(chǎn)能產(chǎn)出，避免造成產(chǎn)能堆積。