一種雙面PERC太陽電池及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911290591.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113066893A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113066893A 申請公布日 2021-07-02
分類號 H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/068 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬勝;童銳;張忠衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 南通蘇民新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 俞翠華
地址 226300 江蘇省南通市通州灣江海聯(lián)動開發(fā)示范區(qū)扶海路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙面PERC太陽電池及其制備方法，所述方法包括對硅片做預(yù)處理；在所述硅片的背面順次沉積氧化硅薄膜和氮氧化硅薄膜，以及具有多層折射率的氮化硅薄膜；對所述硅片做后處理，完成雙面PERC太陽能電池的制備。本發(fā)明中的氧化硅薄膜和氮氧化硅薄膜均比較致密，具有較好的化學(xué)穩(wěn)定性、很強的抗雜質(zhì)擴散和水汽滲透能力，可有效解決背面PID問題，且兩種膜層均為較佳的鈍化膜層，并不影響電性能。