線陣圖像傳感器像素陣列及物體表面缺陷檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811181670.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109346492B 公開（公告）日 2019-02-15
申請公布號 CN109346492B 申請公布日 2019-02-15
分類號 H01L27/146(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉楠;劉巖;王琪;周泉;王欣洋 申請（專利權(quán)）人 杭州長光辰芯微電子有限公司
代理機構(gòu) 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 王淑秋
地址 310053 浙江省杭州市濱江區(qū)浦沿街道六和路368號一幢（南）三樓E3044室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種線陣圖像傳感器像素陣列及物體表面缺陷檢測方法，該像素陣列包括2?3個像素陣列單元，每個像素陣列單元至少包含一行像素；其中至少有一個像素陣列單元由A類像素組成，其余像素陣列單元由B類像素組成；同一像素陣列的A類像素的微透鏡同向橫向偏移，偏移的距離不小于像素尺寸單邊長的1/5，最大不超過像素尺寸單邊長的一半；B類像素的微透鏡與像素幾何中心重合；采用上述線陣圖像傳感器像素陣列，通過判斷同列像素角度響應(yīng)靈敏度比值變化的范圍、比例變化的程度，可以推定各列像素對應(yīng)的主光線入射角度并還原被檢物表面的形貌，實現(xiàn)對被測物表面不規(guī)則缺陷尺寸、類型、形貌等缺陷的精細檢測。??