一種新型蒸鍍機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023304244.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214193432U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214193432U 申請公布日 2021-09-14
分類號 C23C14/24;C23C14/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛蒙曉 申請（專利權(quán)）人 蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州彰尚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹恒濤
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)東旺路45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為了解決如何提高真空鍍膜的問題，本實用新型提出一種新型蒸鍍機，包括蒸鍍機本體、加熱燈結(jié)構(gòu)、鍍鍋、控制機構(gòu)、水冷隔熱機構(gòu)、坩堝、離子源和驅(qū)動機構(gòu)，將鍍鍋安裝至蒸鍍機本體內(nèi)部，抽真空泵組進(jìn)行抽真空處理，控制機構(gòu)啟動驅(qū)動機構(gòu)，加熱燈結(jié)構(gòu)除去蒸鍍機本體內(nèi)部水分、離子源對基板表面進(jìn)行離子轟擊使表面粗糙，清潔并輔助鍍膜，坩堝啟動對基板進(jìn)行鍍膜，水冷隔熱機構(gòu)降低真空主腔體內(nèi)部熱源對低溫泵的熱輻射，既可以保障冷卻效果的同時增加了蒸鍍機內(nèi)部氣流通量，從而提高了真空泵抽真空的速度，該鍍膜機結(jié)構(gòu)簡答，操作方便且鍍膜效果好。