一種新型蒸鍍機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023304244.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214193432U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214193432U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) C23C14/24;C23C14/02 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛蒙曉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州彰尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹恒濤
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)東旺路45號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為了解決如何提高真空鍍膜的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種新型蒸鍍機(jī)，包括蒸鍍機(jī)本體、加熱燈結(jié)構(gòu)、鍍鍋、控制機(jī)構(gòu)、水冷隔熱機(jī)構(gòu)、坩堝、離子源和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，將鍍鍋安裝至蒸鍍機(jī)本體內(nèi)部，抽真空泵組進(jìn)行抽真空處理，控制機(jī)構(gòu)啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，加熱燈結(jié)構(gòu)除去蒸鍍機(jī)本體內(nèi)部水分、離子源對(duì)基板表面進(jìn)行離子轟擊使表面粗糙，清潔并輔助鍍膜，坩堝啟動(dòng)對(duì)基板進(jìn)行鍍膜，水冷隔熱機(jī)構(gòu)降低真空主腔體內(nèi)部熱源對(duì)低溫泵的熱輻射，既可以保障冷卻效果的同時(shí)增加了蒸鍍機(jī)內(nèi)部氣流通量，從而提高了真空泵抽真空的速度，該鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)答，操作方便且鍍膜效果好。