一種蒸鍍機的坩堝遮板機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023145778.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214168113U 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN214168113U 申請公布日 2021-09-10
分類號 C23C14/30（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛蒙曉 申請（專利權(quán)）人 蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州彰尚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹恒濤
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)東旺路45號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為了解決如何對淀積的繼續(xù)控制成了當(dāng)下需要解決的問題，本實用新型提出一種蒸鍍機的坩堝遮板機構(gòu)，對淀積的控制通過切換遮板的位置來完成，因而，蒸發(fā)在淀積開始之前將遮板移至坩堝上放，當(dāng)加熱細(xì)絲進(jìn)行穩(wěn)定的電子發(fā)射和蒸發(fā)時移除遮板，遮板旁的防著板上固定設(shè)有遮條，防止源材料擴散至蒸鍍機內(nèi)部的其他部件上，遮板和遮條的配合可以防止長時間的蒸發(fā)造成源材料的浪費，氣動閥門帶動遮板旋轉(zhuǎn)，坩堝遮板機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，自動化程度高。