一種磁流體一體式源擋板開閉機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023296567.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214300326U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號(hào) CN214300326U 申請公布日 2021-09-28
分類號(hào) C23C14/30（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛蒙曉 申請（專利權(quán)）人 蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州彰尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曹恒濤
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)東旺路45號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為了解決如何對淀積的繼續(xù)控制成了當(dāng)下需要解決的問題，本實(shí)用新型提出一種磁流體一體式源擋板開閉機(jī)構(gòu)，對淀積的控制通過切換遮板的位置來完成，因而，蒸發(fā)在淀積開始之前將遮板移至坩堝上放，當(dāng)加熱細(xì)絲進(jìn)行穩(wěn)定的電子發(fā)射和蒸發(fā)時(shí)移除遮板，遮板的軸桿采用磁流體，軸桿位于連接在防著板上，軸桿的一端與遮板連接，另外一端通過聯(lián)軸器與氣缸連接，磁流體可以增加磁流體與防著板處的密封性，遮板和磁流體的配合可以防止源材料擴(kuò)散至蒸鍍機(jī)內(nèi)部的其他部件上造成源材料的浪費(fèi)，結(jié)構(gòu)簡單，自動(dòng)化程度高。