曝光機(jī)的擋板位置確定方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710514972.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109212908A 公開（公告）日 2019-01-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN109212908A 申請(qǐng)公布日 2019-01-15
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 唐文靜;范剛洪;徐廣軍;王群 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆山儀電顯示材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海儀電顯示材料有限公司
地址 201108 上海市閔行區(qū)華寧路3306弄160號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種曝光機(jī)的擋板位置確定方法，本發(fā)明通過改變擋板位置確認(rèn)圖形的位置，將其設(shè)置在兩次曝光子區(qū)域的共同邊界附近，從而在一次擋板位置確認(rèn)圖形檢查過程中，可以同時(shí)檢查兩個(gè)子曝光區(qū)域的邊界。相對(duì)于每次檢查一個(gè)子曝光區(qū)域邊界的方法，能提高檢查效率、降低確認(rèn)圖形的瀏覽量、縮短檢查時(shí)間、提高產(chǎn)能。