基板檢查系統

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023172645.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215067595U 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN215067595U 申請公布日 2021-12-07
分類號 G02F1/13（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 朱彬;張莉;石雷鳴;田卿;陳瑤 申請（專利權）人 昆山儀電顯示材料有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 吳敏
地址 215300江蘇省蘇州市昆山市經濟技術開發(fā)區(qū)蓬溪北路500號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基板檢查系統，包括：檢查設備，用于對基板進行檢查，所述檢查設備上具有一組相對設置的第一定位桿；基板搬運小車，用于從所述檢查設備取、放基板以及運送基板，所述基板搬運小車包括一對平行設置的移動底架，所述移動底架相對的側壁上設置有若干導向輪，所述移動底架適于從兩側夾住所述第一定位桿，且所述導向輪適于沿所述第一定位桿滑動。本實用新型實施例提供的基板檢查系統，能夠實現不同檢查設備間的對位，降低人工操作難度。