光罩清洗治具及光罩清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120919284.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214751318U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214751318U 申請公布日 2021-11-16
分類號 G03F1/82（2012.01）I;F26B5/08（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 黃國勇;司繼偉;杜武兵 申請（專利權(quán)）人 深圳市路維光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 熊思遠(yuǎn)
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山路16號華瀚創(chuàng)新園辦公樓D座102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光罩清洗治具及光罩清洗裝置。本實(shí)用新型的光罩清洗治具包括框體和固定部。固定部設(shè)于所述框體的內(nèi)側(cè)的邊端，用于固定光罩，且所述固定部避開所述框體的內(nèi)側(cè)的角端，與所述框體的內(nèi)側(cè)的角端形成第一排水區(qū)，第一排水區(qū)用于使所述框體的內(nèi)側(cè)的角端與光罩形成間隔。所述固定部設(shè)于框體的內(nèi)側(cè)的邊端，第一排水區(qū)形成于框體的內(nèi)側(cè)的角端，使光罩與框體的內(nèi)側(cè)的角端留有間隔，在該光罩清洗治具旋轉(zhuǎn)甩干光罩上的水時(shí)，光罩與框體的內(nèi)側(cè)的角端之間不產(chǎn)生積水，提高光罩清洗效果。