定位貼合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022683664.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214036416U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN214036416U 申請公布日 2021-08-24
分類號 F16B11/00（2006.01）I;G01B11/02（2006.01）I;G01B5/02（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 劉猛;司繼偉;杜武兵 申請（專利權(quán)）人 深圳市路維光電股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 邱維杰
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山路16號華瀚創(chuàng)新園辦公樓D座102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種定位貼合裝置，涉及光罩配件裝配領(lǐng)域；所述定位貼合裝置包括工件承載組件，所述工件承載組件用于固定第一工件；第二工件調(diào)節(jié)組件，所述第二工件調(diào)節(jié)組件包括第一微調(diào)件、第二微調(diào)件以及工件治具，所述工件治具位于所述工件承載組件一側(cè)，且所述工件治具位于所述工件承載組件上的第一工件的下方；所述第一微調(diào)件用于驅(qū)動所述工件治具沿第一方向水平移動；所述第二微調(diào)件用于驅(qū)動所述第一微調(diào)件沿第二方向水平移動；拍攝組件，所述拍攝組件用于獲取所述工件治具在所述第一方向的移動距離和在所述第二方向的移動距離；通過上述方式，提升工件背面貼合的精度。