支撐治具及清洗設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120177596.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214278625U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214278625U 申請公布日 2021-09-24
分類號 G03F1/82（2012.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉猛;司繼偉;杜武兵 申請（專利權(quán)）人 深圳市路維光電股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務所有限公司 代理人 謝岳鵬
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山路16號華瀚創(chuàng)新園辦公樓D座102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種支撐治具及清洗設備。支撐治具用于光罩清洗時承載光罩，支撐治具包括載具本體，載具本體具有相對的上表面和下表面，載具本體的中部設有：第一通槽，第一通槽用于容納光罩，且收容于第一通槽內(nèi)的光罩的上表面高于載具本體的上表面；多個第二通槽，環(huán)繞設于第一通槽的外側(cè)，至少部分第二通槽的截面積從上表面往下表面的方向逐漸增大；支撐部，用于支撐光罩，設于第一通槽的槽壁上并延伸至第一通槽內(nèi)。本實用新型的支撐治具能夠提升光罩的清洗效果。