光罩內(nèi)部清潔方法及清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110494398.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113376956A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113376956A 申請公布日 2021-09-10
分類號 G03F1/82（2012.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉猛;司繼偉;杜武兵 申請（專利權(quán)）人 深圳市路維光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 熊思遠(yuǎn)
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)朗山路16號華瀚創(chuàng)新園辦公樓D座102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光罩清潔方式及清潔裝置。本發(fā)明的光罩清潔方式能夠通過激光透過光學(xué)膜照射灰塵，將所述灰塵擊碎至不影響所述光罩正常使用的尺寸，或者將所述灰塵移動至不影響所述光罩正常使用的位置。光罩內(nèi)部清潔方法，至少具有如下有益效果：可在不撬除光學(xué)膜的情況下，通過激光透過光學(xué)膜照射灰塵，將所述灰塵擊碎至不影響所述光罩正常使用的尺寸，或者將所述灰塵移動至不影響所述光罩正常使用的位置，能夠減少光罩的生產(chǎn)成本以及提高生產(chǎn)效率。