垂直移動平臺及包含其的激光直寫式光刻設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122052615.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216118384U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216118384U 申請公布日 2022-03-22
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 洪俊輝;汪孝軍;梅文輝 申請（專利權(quán)）人 中山新諾科技股份有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 梁鑒明
地址 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)明珠路3號之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種垂直移動平臺及包含其的激光直寫式光刻設(shè)備，垂直移動平臺包括：機座組件；調(diào)節(jié)座，設(shè)置于機座組件；第一垂直度調(diào)節(jié)裝置，包括上調(diào)節(jié)組件和下調(diào)節(jié)組件，上調(diào)節(jié)組件和下調(diào)節(jié)組件設(shè)置于機座組件，上調(diào)節(jié)組件能調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)座上部的前后位置，下調(diào)節(jié)組件能調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)座下部的前后位置；第二垂直度調(diào)節(jié)裝置，包括左調(diào)節(jié)組件和右調(diào)節(jié)組件，左調(diào)節(jié)組件和右調(diào)節(jié)組件設(shè)置于機座組件，左調(diào)節(jié)組件能調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)座的左側(cè)部的上下位置，右調(diào)節(jié)組件能調(diào)節(jié)右側(cè)部的上下位置；升降裝置，設(shè)置于調(diào)節(jié)座，升降裝置具有能上下移動的移動臺。上述的垂直移動平臺及包含其的激光直寫式光刻設(shè)備，能夠進行垂直度的調(diào)節(jié)。