一種提高數(shù)字化激光直寫曝光機(jī)分區(qū)對位效率的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111671032.0 申請日 -
公開（公告）號 CN114200787A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114200787A 申請公布日 2022-03-18
分類號 G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 羅覃東;梅文輝 申請（專利權(quán)）人 中山新諾科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯智勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙立軍
地址 528437廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)明珠路3號之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種提高數(shù)字化激光直寫曝光機(jī)分區(qū)對位效率的方法。所述方法包括下述步驟：S1、形成基板，在所述基板上設(shè)置有多個曝光區(qū)域，根據(jù)設(shè)計圖紙，對于每個曝光區(qū)域設(shè)置有四個矩形分布的mark點(diǎn)；S2、對于每個曝光區(qū)域，利用對位相機(jī)抓取對角的2個mark點(diǎn)，根據(jù)抓取的2個mark點(diǎn)，虛擬出每個曝光區(qū)域剩下的2個mark點(diǎn)；對于每個曝光區(qū)域，根據(jù)對位相機(jī)抓取的2個mark點(diǎn)和虛擬出的2個mark點(diǎn)，進(jìn)行對位曝光。本發(fā)明的方法能減少一半抓mark點(diǎn)的時間，顯著提高曝光產(chǎn)能。