一種新型激光直寫式光刻運動平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121521734.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215006247U 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN215006247U 申請公布日 2021-12-03
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 洪俊輝;汪孝軍;梅文輝 申請（專利權）人 中山新諾科技股份有限公司
代理機構 中山市銘洋專利商標事務所（普通合伙） 代理人 唐飚
地址 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)明珠路3號之一
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種包括光刻運動平臺，包括基座及載物臺，所述載物臺通過設置于光刻運動平臺基座上的X向移動機構及Y向移動機構帶動而在平面內移動，所述X向移動機構包括X向預壓氣浮板、相對設置與光刻運動平臺基座上的X向導軌及X向包裹架，所述X向包裹架通過氣浮軸承與X向導軌連接；所述Y向移動機構包括Y向預壓氣浮板、設置與光刻運動平臺基座上的Y向導軌及Y向包裹架，所述Y向包裹架通過氣浮軸承與Y向導軌連接，所述Y向包裹架的底部與Y向預壓氣浮板連接且通過Y向預壓氣浮板支撐，所述Y向導軌的兩端分別與對應的X向預壓氣浮板連接且通過X向預壓氣浮板支撐，且所述Y向導軌的兩端還分別與對應的X向包裹架連接，所述載物臺設置于Y向包裹架上。