半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法和人工智能芯片及其形成方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910973559.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110707115B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110707115B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L27/146（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 余興;蔣維楠 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江清華長(zhǎng)三角研究院 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)隆興路118號(hào)內(nèi)主辦公樓2129室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法和人工智能芯片及其形成方法，所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括：第一基底，所述第一基底具有非感應(yīng)面，所述第一基底包括圖像傳感區(qū)和微機(jī)電系統(tǒng)區(qū)，所述圖像傳感區(qū)內(nèi)具有圖像傳感器，所述微機(jī)電系統(tǒng)區(qū)內(nèi)具有微機(jī)電系統(tǒng)器件；與所述第一基底鍵合的第二基底，所述非感應(yīng)面朝向所述第二基底，所述第二基底包括存儲(chǔ)區(qū)，所述存儲(chǔ)區(qū)在所述第一基底表面具有第一投影，所述圖像傳感區(qū)在所述第一基底表面的投影在所述第一投影的范圍內(nèi)，且所述微機(jī)電系統(tǒng)區(qū)在所述第一基底表面的投影在所述第一投影的范圍內(nèi)。所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)能夠增加單個(gè)芯片功能、減少芯片的占用面積、提高芯片的集成度并且降低芯片的成本。 |
